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株式会社ジェイビック

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MS-50Argon全自動コンソール型アルゴンリークディテクターのご紹介

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MS-50Argon全自動コンソール型アルゴンリークディテクター
米Vacuum Instrument Corporation社製 MS-50 Argon全自動コンソール型アルゴンリークディテクターは、ヘリウムガスよりも安価で供給体制の安定した、アルゴンガスを使用してのリーク試験を行う、アルゴンリークディテクターです。装置構成はMS-50ヘリウムリークディテクターと同様、大型LCDフラットパネル画面、粗引き/フォア用に独立した真空ロータリーポンプを搭載します。質量分析官は、アルゴンガスの分析に特化させた180度偏向型質量分析官となります。内部校正器(標準アルゴンガスリーク)はN.I.S.T(米国立標準技術研究所)の校正認定済み。試験工程、装置校正、感度矯正はMS50と同様に、スイッチ一つで行われる簡単操作となります。
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製品カタログ(PDF)をこちらからダウンロード頂けます(283kb)
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MS-50Argon全自動コンソール型アルゴンリークディテクター 製品特徴

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・最高感度:1.0×10^-9 Pa m3/sec
・広範な測定範囲:1.0×10^-1 ~ 1.0×10^-9 Pa m3/sec
・大型LCDフラットパネルによる画面表示
・粗引き用、フォア用に独立した真空ロータリーポンプを搭載し、高速試験を実現
・ボンビング法、真空法に対応
・180°磁場偏向型質量分析管を搭載し、安定した精度の高い試験を実現
・試験はスイッチ一つで試験終了まで全自動
・装置内蔵標準リークは、N.I.S.T(米国立標準技術研究所)トレーサビリティ取得
・装置の自己診断、検知感度矯正、装置校正はスイッチ一つの簡単操作
*MS-50Argonは、スニッファ法試験に対応しておりません
*MS-50Argonは、ダイレクトモードのみでの運用となります。
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MS-50Ar全自動高速試験型アルゴンリークディテクター 製品用途例

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1:ご使用真空設備の漏れ箇所調査用設備として
2:半導体製品への漏れ試験(リーク試験)装置として
3:高い気密性を要する航空機部品の気密性確認試験装置として
4:防水機能、気密性を必要とする自動車部品への漏れ試験装置として
5:食品用包装材(アルミパウチ等)の気密性確認試験を担当する検査装置として
6:その他アルゴンガス検知を必要とする用途に対応可
7:試験スピードの速さが求められる試験工程に対し、大きな効果を発揮致します
8:ヘリウムガス供給事情、ヘリウムガス使用のランニングコスト等の課題対策として
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MS-50Ar全自動コンソール型アルゴンリークディテクター 対応可能試験種(一例)

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ここでは、MS-50Arが対応可能なアルゴンガスリーク試験種の一例をご紹介致します。装置導入検討のご参考となれば幸いです。
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1:真空吹付け法(スプレー法)
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真空吹付け法(スプレー法)
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○試験流れ
1:テスト用治具に試験体を装着(取付等)します。
2:Argonリークディテクター(以下:装置)のスタートスイッチを押すと、装置に内蔵された粗引きポンプにより、試験体内部が減圧されていきます。
3:減圧された試験体に、アルゴンガスを吹きかけます。
4:試験体のリーク箇所から、アルゴンガスが試験体内部を通して装置内に引き込まれ、装置画面上にリーク数値として表示されます。
5:装置画面上に表示されるリーク数値を確認し、試験終了となります。
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○スプレー法試験の特徴
@漏れ箇所の特定が、ある程度可能
A非常に小さいリーク量まで検査が可能
B多数個製品への試験には不向き(一度に試験出来る個数が限定されるため)
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2:ボンビング法
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ボンビング法
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○試験流れ
   1:真空容器を装置テストポート(または治具)に装着します。
   2:あらかじめアルゴンガスが封入(加圧浸透)された試験体を、真空容器の中に入れます。
   3:装置スタートにより、試験体が中に入った真空容器内が減圧されます。
   4:真空容器内部が減圧されることにより、試験体に封入されたアルゴンガスが、試験体のリーク箇所から抜け、装置内部に引き込まれていきます。
   5:装置内部に引き込まれたアルゴンガスに装置が反応し、リーク数値として表示します。
   6:リーク数値を確認し、試験終了。
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○ボンビング法試験の特徴一例
  @多数の試験品を一度に試験可能(但し、リーク数値は試験品全体での数値となります)
  A漏れ箇所の特定は不可
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MS-50Ar製品表

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製品名称 製品番号
MS-50Ar 0139-902-00
MS-50Ar Dry 0139-902-20
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*200V電圧対応型もご用意しております。ご希望の場合にはお問い合わせ下さい
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MS-50Ar 装置スペック表

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項目 仕様
測定範囲 1.0×10-1 Pa m3/sec 〜 1.0×10-9 Pa m3/sec
測定単位 Pa m3/sec、 atm cc/sec、mbar l/sec、の3種に対応
最高感度 1.0×10-9 Pa m3/sec
最高感度(スニッファモード時) N/A
アルゴンガス反応速度 2秒以下
装置分析官 磁場偏向角度:180度マグネット仕様:デュアルマグネット
校正器 温度補正付標準リークを内蔵
(標準リーク) トレーサビリティ:N.I.S.T(米国立標準技術研究所)
装置感度校正 内蔵標準リーク使用での校正:装置自動校正機能による自動校正
*感度矯正は、装置オートチューニング機能により自動外部校正器(オプション)使用での校正:手動による
測定可能ヘリウム種 アルゴン(質量40)
内蔵真空径 @:ターボ分子ポンプ(排気量:61 L/s)
A:粗引きロータリー真空ポンプ(排気量:16cfm)
   フォア用ロータリー真空ポンプ(排気量:7cfm)
B:ピラニ真空計(テストポート、フォア)
C:テストポート(口径:NW-25)
フィラメント 2本、タングステン製
入出力系 @RS232C
Aプリンター接続用ポート
電源 100V、50/60 Hz、8A
装置寸法 654 W × 777.9 H × 895.4 D (寸法単位:mm)
装置本体重量 215.45 kg
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VIC社について

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社名:Vacuum Instrument Corporation
所在地:米国 ニューヨーク州ロンコンコマ 9thアベニュー 2099番地
創業:1946年
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VIC社は、米国ニューヨーク州ロンコンコマに本拠地を置く、各種ガスリーク試験設備システム、及びヘリウム、エアを使用したリークディテクターのメーカー。VIC社製ヘリウムリークディテクターの特徴としては、高い耐久性、ヘリウムが装置内に入りすぎた際に発生するバックグラウンド状態からの素早い立ち上がり性能、NIST(全米標準規格)規格に則った校正器(キャリブレーター)の使用による高い検知精度などがあげられる。
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同社は、上記ヘリウムリークディテクターを内部に組込んだリーク試験設備の構想から組付けまでを得意業務としており、世界でも屈指のヘリウムガスを使用した漏れ試験設備メーカーである。また、空気を利用した漏れ試験機であるエアリークテスターの開発、ヘリウムガス回収システム、ヘリウムガスと空気を混合させるガスミキサーなどの開発販売も行っている。VIC社のリーク試験設備などを使用している業界は、車、航空機、食品、医療など多岐に渡る。
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◆VIC社ウェブアドレス:http://www.vacuuminst.com/
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〒193-0812
八王子市諏訪町365-22
TEL:042-650-1761
FAX:042-650-1760
受付:平日9:00〜17:00
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[アクセス]
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八王子駅北口8番停留所
京王八王子駅2番停留所
「松枝住宅」行「松枝住宅」バス停下車 徒歩1分
(乗車時間約40分)
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中央道八王子IC下車約15分
圏央道あきる野IC下車約15分
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